Метилсилан

Метилсилан
Общие
Систематическое наименование	Метилсилан
Хим. формула	CH3-SiH3
Рац. формула	СH6Si
Физические свойства
Молярная масса	46,14 г/моль
Плотность	газ 1,93 г/л 0,6277-57 г/см³
Термические свойства
Температура
• плавления	-156,8; -157 °C
• кипения	-57,5; -56,9 °C
Классификация
Рег. номер CAS	992-94-9
Рег. номер EINECS	213-598-5
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение

• Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

$\mathsf{2}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\mathsf{C}\mathsf{l}\mathsf{+}\mathsf{Z}\mathsf{n}\mathsf{(}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}{\mathsf{)}}_{\mathsf{2}}\stackrel{}{\to }\mathsf{2}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\mathsf{+}\mathsf{Z}\mathsf{n}\mathsf{C}{\mathsf{l}}_{\mathsf{2}}$

• Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

$\mathsf{4}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}\mathsf{C}{\mathsf{l}}_{\mathsf{3}}\mathsf{+}\mathsf{3}\mathsf{L}\mathsf{i}\mathsf{[}\mathsf{A}\mathsf{l}{\mathsf{H}}_{\mathsf{4}}\mathsf{]}\stackrel{}{\to }\mathsf{4}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\mathsf{+}\mathsf{3}\mathsf{L}\mathsf{i}\mathsf{C}\mathsf{l}\mathsf{+}\mathsf{3}\mathsf{A}\mathsf{l}\mathsf{C}{\mathsf{l}}_{\mathsf{3}}$

• Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

$\mathsf{3}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}\mathsf{H}\mathsf{(}\mathsf{O}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{2}}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}{\mathsf{)}}_{\mathsf{2}}\stackrel{}{\to }\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\mathsf{+}\mathsf{2}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}\mathsf{(}\mathsf{O}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{2}}\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}{\mathsf{)}}_{\mathsf{3}}$

Физические свойства

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства

• Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

$\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\stackrel{T}{\to }\mathsf{C}\mathsf{S}\mathsf{i}\mathsf{+}\mathsf{3}{\mathsf{H}}_{\mathsf{2}}$

• Реагирует с галогенами:

$\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\mathsf{+}\mathsf{C}{\mathsf{l}}_{\mathsf{2}}\stackrel{}{\to }\mathsf{C}{\mathsf{H}}_{\mathsf{3}}\text{-}\mathsf{S}\mathsf{i}{\mathsf{H}}_{\mathsf{2}}\mathsf{C}\mathsf{l}\mathsf{+}\mathsf{H}\mathsf{C}\mathsf{l}$

Применение

• Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

Литература

• Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5.